ТЕХНОЛОГИЯ XXI ВЕКА. Пульс растущего кристалла

О разработке сверхвакуумных автоматизированных установок для синтеза многослойных пленочных структур рассказывает заведующий лабораторией технологии эпитаксии Института физики полупроводников СО АН СССР О.П. Пчеляков.

Автор: Шпак Галина Антоновна