Установка для молекулярной эпитаксии. В ИФП создано несколько таких установок. Это оборудование сейчас широко используется при производстве материалов и многослойных эпитаксиальных структур для микро-, нано- и опто-электроники.

Автор: Ахмеров Рашид Ибрагимович