В ПОДРАЗДЕЛЕНИЯХ СО АН. Ходовой прибор

О создании диагностической установки для измерения емкости, добротности и профиля концентрации примесей в глубь от поверхности полупроводника в Институте физики полупроводников СО АН рассказывает заведующий отделом В.Н. Овсюк.

Автор: Шпак Галина Антоновна